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光學凈化車間工程

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發表時間:2018-06-07 09:10作者:奧宣凈化來源:www.lbroyal.com

光學凈化車間工程

  光學凈化工程一般潔凈度在10000級到100000級,溫濕度控制嚴格,需要很高的潔凈工藝; 由于光學元器件工藝生產技術的特殊性,它對生產環境,如潔凈度、溫度、濕度都有嚴格的要求,這直接關系到晶圓產品的質量和壽命,必須嚴格控制在要求范圍之 內。在工程設計中,暖通空調專業擔負著保證生產區潔凈度等級和溫度、濕度要求的使命。

  潔凈室系統采用集中送風形式。 頂送側下回風形式;

  過濾系統如何選擇

  潔凈室系統采用集中送風形式。 頂送側下回風形式;

  維護結構如何選擇

  1.萬級、十萬級潔凈室墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,陰角全部選用圓弧連接;采用回風立柱為回風技術夾道;

  2.地面:一般為pvc防靜電地板或2mm環氧樹脂自流平地面;

  凈化參數

  換氣次數:100000級≥18次,10000級≥25次;;。

  壓差:主車間對相鄰房間≥10Pa

  溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;

  濕度:不超過50%;噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度:不低于300LX;

  一般操作流程

光學凈化車間工程

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文章分類: 工程案例
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